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歐姆龍光電傳感器在晶圓測(cè)試系統(tǒng)中的成功應(yīng)用

2021-06-10

由于目標(biāo)檢測(cè)物晶圓的顏色和反光率存在差異,常規(guī)的漫反射型傳感器無(wú)法實(shí)現(xiàn)可靠檢測(cè)。而歐姆龍B5W-LB系列限定反射型傳感器具備背景抑制功能,檢測(cè)結(jié)果只與檢測(cè)距離有關(guān),與晶圓表面的顏色和反光率無(wú)關(guān),因此可有效、精準(zhǔn)識(shí)別傳送帶上的晶圓通過(guò)情況。

應(yīng)用場(chǎng)景如圖所示1:晶圓通過(guò)檢測(cè)


可了解歐姆龍B5W-LB系列限定反射型傳感器的特點(diǎn),由此可知:

不易受顏色和材質(zhì)影響的限定反射型鏡面、黑色、透明物體也都會(huì)檢測(cè)出來(lái)

< 顏色的穩(wěn)定性 >

穩(wěn)定檢測(cè)鏡面、黑色及透明物體等各種物體

不受背景影響,切實(shí)檢測(cè)希望檢測(cè)的物體

< 距離的穩(wěn)定性 >

檢測(cè)范圍廣,因此耐物體位置偏移強(qiáng)

不易受外部干擾影響的設(shè)計(jì)

備有模擬電壓輸出和數(shù)字輸出

備有55mm和10mm的檢測(cè)距離

應(yīng)用場(chǎng)景如圖所示2:晶圓在場(chǎng)檢查定位


歐姆龍EE-SX系列槽型對(duì)射光電傳感器,檢測(cè)距離1-15mm可選,響應(yīng)速度小于1ms,具分辨率高,備N(xiāo)PN 、PNP常開(kāi)常閉可選,且安裝形式豐富。



 

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